半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体器件舒适首测整套搭配涉重废液——MVR硬性循环法零排项目流程
活动的背景
半导体材料设备高档公测创业业务,大小150万立方/天,是正式启动半导体材料设备公测配合涉重废液处理零排创业业务。公测方式的镀镍、镀铜、引线架构除垢会导致含镍含铜废液处理,该项目规定"无尾水外排",产水大部分工业废水处理于产线。
地表水特证与存在的问题
废污水以含镍主要(浓硫酸浓度10–100毫克/升),伴进样器铜、锌,pH下跌大(2–12),同时还有光刻胶留下的一点巧妙物。公测厂现场紧,想要治疗的设施拆迁赔偿小;零排寓意着浓水难以运输非常多,需求本机蒸发掉心得前馈。
除理工学院艺风格
产品走"分质持续 → 预工作除杂 → 无机化学奠定除镍 → 筛选 → UF+有级RO → MVR二次循环系统蒸馏 → 气液分离器水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢腐蚀钠制成Ni(OH)₂积淀,多加加硫钠淬硬层收集残留物镍(加硫镍Ksp比氢腐蚀镍更小,能能镍压到0.1毫克/升左右);
沉定满水后经多媒质吸附+物业保安吸附后进UF,再进一级通过成绩RO,产水间接回产线除污;
RO浓水(含盐+残余物天价属)进MVR被迫循坏减压蒸馏器,被迫循坏能扛高含盐积灰,减压蒸馏器再带网上清晰,后易堵;
MVR冷凝器水变回工业废水处理水槽,蒸发掉残液委外焚化或看作危废处理妥善处理,所有厂内无等离子态外排。
关键因素环保设备的特点阐述
MVR被迫反复的比起来常见降膜减压蒸馏,反复的流动速度高、制热面容易结镍盐/碳酸盐垢,时候测封本身"容量面积不大但水源杂"的景象;整体化撬装装修设计占地面积比常用减压蒸馏塘+多效减压蒸馏预案小60%上述;废气侧搭配生物体滤池,把调准池和厌氧颗粒污泥间的废气抽取后分解成CO₂和水,避免出现测封厂毗邻办公室区的刺激性气味投述。
治理效用与前景
满水后镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,高于《主轴电镀污染问题物污染物细则》表三;全部的150万立米/天产水使用于公测产线的洗涤,替换等量新颖水;危险废物(蒸发器残液+淤泥)量比传统文化"积累+污染物"模试减约70%。对富士康侧,公测品牌坏保市场准入卡点遭打通;